RFコイルについて

ICP装置におけるRFコイルの働き

　RFコイルはICP装置においてプラズマを発生させるためのRF (高周波) 電源ユニットの最終部品です。そのため、RFコイルはプラズマにRFパワーを伝える上で非常に重要な部分であると言うことが出来ます。

　RFコイルには以下の3つの重要な要素があります。

同心精度と位置決め精度 - プラズマを正しく形成させる上で重要な要素で、RFコイルは常に同じ位置に正しく設置されていなくてはなりません。GE社製の専用工具とコイル保持具により、コイルはいつでも正しく位置決めすることが出来ます。
寸法精度 - RFコイルの寸法は高周波回路全体のチューニングにおいて非常に重要な意味を持っています。RFコイルの若干の寸法の変化が高周波抵抗と誘電率を変化させ、それらの変化は装置により補償されなければなりません。
材質と表面処理 - RFエネルギーに対して最も導電率の高い材料は銀で、その次は焼きなました銅が続きます。2つの材料間の導電率の差は微々たるものではありますが、その表面処理によりコイルは大きく異なった性質を持つことになります。銅は市販されている殆どのRFコイルの材料として用いられていますが、表面処理には様々な方法が採用されています。銀メッキは最高の導電率を提供し、金メッキは最も耐腐食性に優れています。

　RFコイルはトーチ部に配置された高周波部品であり、プラズマへのRFエネルギーの伝達に非常に重要な部品です。コイルの腐食が進むとその効率は失われ、プラズマに同じRFネルギーを供給するために、高周波電源はより大きな出力を要求されるようになります。このことは高周波電源ユニットに大きな負荷を与え、より大きなトラブルを誘発する原因となることもあります。

　プラズマの持つエネルギーを効率的にサンプルに与えるためには以下の3つの重要な要素があります。

アルゴンガスフローとアルゴンガスの品質
プラズマを含めたトーチ：　トーチは同心構造で高品質の石英製である必要があります。万が一、アウターチューブ表面がプラズマの熱により失透してしまうような場合、、エネルギーの伝達は制限されてしまい、結果として測定元素へのエネルギーの伝達量も減少してしまいます。
RFコイルを含めた高周波発生装置：市販されているICP装置の高周波システムは十分なパワーを持つように設計されています。そして、どの装置にも同じようにRFコイルが設置されています。装置によりそのサイズや巻数などの形状は若干異なります。

　 RFコイルはプラズマを発生させるために必要なたくさんのコンポーネントのひとつです。GE社製RFコイルとメンテナンスキットをお使いいただきますと、お客さまご自身が簡単にコイルの交換やメンテナンス作業を行い、常に装置をトップコンディションに保ち、ダウンタイムとランニングコストの軽減が可能となります。